Проектирование маятникового акселерометра прямого измерения
Описание работы
Работа пользователя В. Полянский
Содержание
Введение………………………………………………………………….6
Специальная часть……………………………………………………….9
1. Обзор существующих МЭМС акселерометров……………………..9
1.1 Обзор МЭМС-акселерометров фирмы STMicroelectronics…….10
1.2 Микроакселерометры фирмы Analog Devices……………………11
2. Оценка преимуществ и недостатков маятниковых
акселерометров прямого измерения……………………………………13
3. Принцип действия маятниковых акселерометров
прямого измерения………………………………………………………16
4. Выбор элементной базы………………………………………………19
4.1 Чувствительный элемент…………………………………………….20
4.1.1 Определение размеров чувствительного элемента……………..20
4.1.2 Выбор геометрии упругого подвеса ИМ………………………..21
4.1.3 Расчет упругого подвеса ИМ…………………………………….21
4.1.4 Определение массы ИМ…………………………………………..23
4.2 Разработка преобразователя перемещения……………………….23
4.3 Расчет толщины упругого подвеса………………………………...25
4.4 Проверка прочности подвеса………………………………………26
5. Вывод уравнения движения ЧЭ……………………………………...27
5.1. Расчет коэффициента демпфирования …………………………30
5.2 Разработка структурной схемы МА……………………………….30
5.3 Преобразователь перемещения…………………………………….31
5.3.1 Определение выходного напряжения
преобразователя перемещения………………………………………….32
5.4 . Выбор параметров фильтра………………………………………32
5.5 Определение передаточной функции МА…………………………33
5.6 Анализ и расчет погрешностей…………………………………….35
6. Разработка конструкции……………………………………………..36
Заключение……………………………………………………………….37
Список литературы………………………………………………………38
Введение………………………………………………………………….6
Специальная часть……………………………………………………….9
1. Обзор существующих МЭМС акселерометров……………………..9
1.1 Обзор МЭМС-акселерометров фирмы STMicroelectronics…….10
1.2 Микроакселерометры фирмы Analog Devices……………………11
2. Оценка преимуществ и недостатков маятниковых
акселерометров прямого измерения……………………………………13
3. Принцип действия маятниковых акселерометров
прямого измерения………………………………………………………16
4. Выбор элементной базы………………………………………………19
4.1 Чувствительный элемент…………………………………………….20
4.1.1 Определение размеров чувствительного элемента……………..20
4.1.2 Выбор геометрии упругого подвеса ИМ………………………..21
4.1.3 Расчет упругого подвеса ИМ…………………………………….21
4.1.4 Определение массы ИМ…………………………………………..23
4.2 Разработка преобразователя перемещения……………………….23
4.3 Расчет толщины упругого подвеса………………………………...25
4.4 Проверка прочности подвеса………………………………………26
5. Вывод уравнения движения ЧЭ……………………………………...27
5.1. Расчет коэффициента демпфирования …………………………30
5.2 Разработка структурной схемы МА……………………………….30
5.3 Преобразователь перемещения…………………………………….31
5.3.1 Определение выходного напряжения
преобразователя перемещения………………………………………….32
5.4 . Выбор параметров фильтра………………………………………32
5.5 Определение передаточной функции МА…………………………33
5.6 Анализ и расчет погрешностей…………………………………….35
6. Разработка конструкции……………………………………………..36
Заключение……………………………………………………………….37
Список литературы………………………………………………………38
