Разработка топологии микросистемного преобразователя
Описание работы
Работа пользователя В. Полянский
Полянский В.В. Разработать топологию микросистемного преобразователя. – Арзамас: АПИ (ф) НГТУ, 2017 г. – 41 стр.
Цель курсовой работы – разработка топологии микросистемного акселерометра. На основе анализа структурной схемы выполнены основные расчеты: определение жесткости упругих подвесов, определение размеров шаблонов для травления. Освещены вопросы методов и средств изготовления кремниевых чувствительных элементов микромеханических акселерометров, раскрыта технология обработки монокристаллического кремния.
Рисунков - 7; Таблиц - 6; Библиогр.: 7 названий.
Содержание
Введение…………………………………………………………………………..5
1. Размерная обработка монокристаллического кремния……………………..6
1.1 Формирование защитных и пассивных покрытий……………………...6
1.2 Фотолитография…………………………………………………………..9
1.3 Травление……………………………………………………………….11
1.4 Расчет технологической погрешности при формировании маятниковых чувствительных элементов интегральных акселерометров………………….16
2. Технология получения тонких металлических пленок…………………….19
2.1 Получение резисторов……………………………………………………24
2.2 Получение контактных площадок и токоведущих дорожек…………..26
2.3 Изготовление изолирующих покрытий…………………………………29
3. Разработка топологии…………...……………………………………………31
Заключение………………………………………………………………………40
Список литературы………………………………………………………………41
Цель курсовой работы – разработка топологии микросистемного акселерометра. На основе анализа структурной схемы выполнены основные расчеты: определение жесткости упругих подвесов, определение размеров шаблонов для травления. Освещены вопросы методов и средств изготовления кремниевых чувствительных элементов микромеханических акселерометров, раскрыта технология обработки монокристаллического кремния.
Рисунков - 7; Таблиц - 6; Библиогр.: 7 названий.
Содержание
Введение…………………………………………………………………………..5
1. Размерная обработка монокристаллического кремния……………………..6
1.1 Формирование защитных и пассивных покрытий……………………...6
1.2 Фотолитография…………………………………………………………..9
1.3 Травление……………………………………………………………….11
1.4 Расчет технологической погрешности при формировании маятниковых чувствительных элементов интегральных акселерометров………………….16
2. Технология получения тонких металлических пленок…………………….19
2.1 Получение резисторов……………………………………………………24
2.2 Получение контактных площадок и токоведущих дорожек…………..26
2.3 Изготовление изолирующих покрытий…………………………………29
3. Разработка топологии…………...……………………………………………31
Заключение………………………………………………………………………40
Список литературы………………………………………………………………41
