Установка для нанесения покрытия методом термического испарения в вакууме.

В данном дипломном проекте разработана установка  для напыления тонких плёнок на подложки.
В проекте подробно описаны устройство и работа установки, представлена кинематическая схема рабочей камеры и гидровакуумная принципиальная схема установки, приведены расчеты приводов вращения карусели и подложкодержателя, расчёт камеры на прочность. В пояснительной записке наглядно изображены основные узлы разработанной установки и расчетные схемы.
Также в работе рассмотрены вопросы безопасности жизнедеятельности и экологии, организационно – экономические вопросы.
Расчет камеры на прочность выполнен с помощью программы COSMOSWorks. Текстовая часть выполнена в текстовом редакторе Word – 2007. Чертежи и расчетные схемы выполнены в программе КОМПАС-3D V10.